等离子清洗(Plasma Cleaning)是一种利用低温等离子体对材料表面进行清洁、活化或改性的干式表面处理技术,广泛应用于高精密制造领域。其核心优势在于无损、环保、高效、可处理复杂结构,特别适用于传统湿法清洗难以满足要求的场景。
以下是等离子清洗在主要工业领域的典型用途:
一、电子与半导体行业
晶圆/芯片表面去污
去除光刻胶残留、有机污染物、微尘颗粒。
提升后续镀膜、沉积、键合工艺的附着力与良率。
引线框架、封装基板预处理
清除氧化层和有机膜,增强焊线(Wire Bonding)可靠性。
PCB/FPC 表面活化
改善柔性电路板(FPC)在压合或涂覆前的表面能,提升胶粘或油墨附着力。
二、光学与摄像头模组(如手机镜头)
镜片、滤光片、蓝宝石玻璃清洗
去除脱模剂、指纹、油脂等纳米级污染物。
避免水渍或化学残留,保障高透光率和镀膜质量。
摄像头模组组装前处理
对镜筒、支架、传感器窗口进行表面活化,提升UV胶或结构胶的粘接强度。
三、显示与触控面板
OLED/LCD 面板清洁
在贴合(如OCA光学胶贴合)前去除微尘和有机膜,防止气泡、脱层。
ITO玻璃表面活化
提高导电层与后续功能层(如封装胶、偏光片)的结合力。
四、汽车与医疗器件
汽车传感器、ECU组件清洗
确保电子元件在严苛环境下的长期可靠性。
医用导管、植入器械表面处理
去除脱模剂,同时提高亲水性或生物相容性(如用于后续涂层或细胞附着)。
五、塑料与复合材料粘接前处理
对PP、PE、PTFE等难粘材料进行表面改性,引入极性基团(如–OH、–COOH),显著提升胶粘、喷涂、印刷的附着力。
替代火焰处理或化学底涂,更安全环保。
六、新能源领域
锂电池极片清洗:去除金属箔表面的油污和氧化物,提升涂布均匀性和电极界面稳定性。
光伏组件背板活化:增强EVA胶膜与背板的粘接强度,防止层间剥离。


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